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青岛晨立电子有限公司

扩散炉, 焊接炉, 真空炉, 加热炉体

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扩散炉 扩散炉图片,价格,生产厂家
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产品: 浏览次数:260扩散炉 扩散炉图片,价格,生产厂家 
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最后更新: 2017-12-28 22:13
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详细信息

“扩散炉 扩散炉图片,价格,生产厂家”参数说明

是否有现货: 认证: 中国半导体行业
类型: 成套加热设备 用途: 电子
材质: 不锈钢 型号: CL
规格: CL 商标: 晨立
包装: 行业包装 产量: 200

“扩散炉 扩散炉图片,价格,生产厂家”详细介绍

微控高低温扩散炉
 
       扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。      

扩散炉技术指标:  

 可处理硅片尺寸:2—8英寸  
 外型形式:卧式1—4管结构  
 工作温度:200℃—1300℃   
    恒温区长度及精度:200mm—100mm≤±0.5℃   
    单点温度稳定性、重复性:≤±1.5℃/24h  
 温度斜变:可控升温速率20℃/min,   可控降温速率:5℃/min  
   送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉   
   气路系统:1—5路工艺气体/管   
   气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计   
   控制方式:工控机、触摸屏方式操作。 

我公司可根据客户要求,专业定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD
炉、加热

炉及加热装置等,欢迎广大客户来电咨询。
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