“扩散炉 扩散炉图片,价格,生产厂家”参数说明
是否有现货: | 是 | 认证: | 中国半导体行业 |
类型: | 成套加热设备 | 用途: | 电子 |
材质: | 不锈钢 | 型号: | CL |
规格: | CL | 商标: | 晨立 |
包装: | 行业包装 | 产量: | 200 |
“扩散炉 扩散炉图片,价格,生产厂家”详细介绍
微控高低温扩散炉
扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术指标:
可处理硅片尺寸:2—8英寸
外型形式:卧式1—4管结构
工作温度:200℃—1300℃
恒温区长度及精度:200mm—100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性:≤±1.5℃/24h
温度斜变:可控升温速率20℃/min, 可控降温速率:5℃/min
送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统:1—5路工艺气体/管
气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式:工控机、触摸屏方式操作。
我公司可根据客户要求,专业定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD炉、加热电
炉及加热装置等,欢迎广大客户来电咨询。